1月24日音讯，国学问产权局信息露馅，中微半体开采（上海）股份有限公司请求项名为“种哄骗等离子体刻蚀开采的解决工艺”的利。请求公布号为CN121398177A，请求号为CN202410966229.4，请求公布日历为2026年1月23日，请求日历为2024年7月18日，发明东谈主黄秋平、董磊，利代理机构上海元好学问产权代理有限公司，利代理师贾慧琴、包姝晴鹤壁不锈钢保温厂家，分类号H10F39/18、H10F39/00、H10P50/28、B81C1/00。

利选录露馅，本发明公开了种哄骗等离子体刻蚀开采的解决工艺，包含：将名义千里积了缘层的基片放手于等离子体刻蚀开采的反馈腔内；通入刻蚀气体，在基片上名义变成凹下结构；千里积技能中包括多个工艺轮回，每个轮回包括瓜代进行的工艺技能和二工艺技能，工艺技能中通入的气体包括含硅气体，二工艺技能中通入的气体包括含氧或含氮气体中的自便种；在二工艺技能中，含硅气体和含氧/含氮气体混变成的千里积气体解离变成的等离子体在基片的凹下结构内壁上千里积保护薄膜。本发明千里积的保护薄膜质料佳，从简了时间成本和出产成本。

天眼查数据露馅鹤壁不锈钢保温厂家，铁皮保温施工中微半体开采（上海）股份有限公司建筑日历2004年5月31日，法定代表东谈主尹志尧，所属行业为用开采制造业，企业限制为大型，注册老本62614.5307万东谈主民币，实缴老本62236.3735万东谈主民币，注册地址为上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号。中微半体开采（上海）股份有限公司共对外投资了30企业，参与招投标神志75次，财产陈迹面有信息108条，利信息1634条，领有行政许可77个。

中微半体开采（上海）股份有限公司近期利情况如下：

序号利称号利类型法律景象请求号请求日历公开(公告)号公开(公告)日历发明东谈主1种工艺顶盖及气相千里积开采实用新式授权CN202521979639.92025-09-15CN223458392U2025-10-21刘从灵、谢振南、郑振宇、柴浩瑞、姜勇、郭世平2反馈腔、宽比结构畸形变成法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510550377.22025-04-28CN120072612B2025-07-25尹志尧、徐伟娜、张川、张凯、丛海、刘志强3基片托盘外不雅利授权CN202530230568.12025-04-25CN309730273S2026-01-09陈耀、毅、陶章峰、陆顺开4基片托盘外不雅利授权CN202530230569.62025-04-25CN309730274S2026-01-09陈耀、毅、陶章峰、陆顺开5种气相千里积开采及半体解决系统发明利公布CN202510444720.52025-04-09CN120830094A2025-10-24尹志尧、倪图强、丛海、请求不公布姓名、杨宽、张海龙、朱荣帅6种环组件及成膜安装实用新式授权CN202520251908.32025-02-17CN223780392U2026-01-09郭世平、姜勇、郑振宇、丁伟7种边际环组件、下电组件、等离子体解决安装和制备法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510165658.62025-02-14CN119673741B2025-05-30叶如彬、范光伟、田宁、吕翌晟8种边际环组件、下电组件、等离子体解决安装和制备法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510165658.62025-02-14CN119673741B2025-05-30叶如彬、范光伟、田宁、吕翌晟9种半体加工开采畸形截至法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510147729.X2025-02-10CN119601451B2025-05-09李博睿、卢明、倪图强10种阻抗匹配器、射频组件与等离子体解决开采实用新式授权CN202520210442.22025-02-10CN222637222U2025-03-18卢明、李博睿、倪图强11种半体加工开采畸形截至法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510147729.X2025-02-10CN119601451B2025-05-09李博睿、卢明、倪图强12种化学气相千里积安装实用新式授权CN202520172387.22025-01-24CN223780352U2026-01-09杜冰洁、路今、姜银鑫13种下电组件、等离子体解决开采畸形电压截至法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510098695.X2025-01-21CN119517722B2025-05-13田宁、叶如彬14种下电组件、等离子体解决开采畸形电压截至法发明利授权、本体审查的生、公布CN202510098695.X2025-01-21CN119517722B2025-05-13田宁、叶如彬15种龙套结构及化学气相千里积安装实用新式授权CN202520123428.92025-01-17CN223780362U2026-01-09黄稳、李勇志、姜勇、陆顺开16种化学气相千里积安装发明利本体审查的生、公布CN202510073813.12025-01-16CN119932527A2025-05-06张辉、姜银鑫、姜勇17缓冲安装实用新式授权CN202520107111.62025-01-16CN223780359U2026-01-09杨闰清、徐灿阳、陈冬、许灿、何大业18种化学气相千里积安装实用新式授权CN202520086318.X2025-01-14CN223780351U2026-01-09陆顺开、周子琛、张辉19种气体流量截至阀、气体运输安装及气体供应法发明利本体审查的生、公布CN202411976013.22024-12-31CN119374033A2025-01-28徐志鹏、倪图强、连增迪20化学气相千里积开采实用新式授权CN202423319091.32024-12-31CN223780363U2026-01-09朱泉松、庄宇峰、吕术亮、李远21种射频发生器、半体解决开采及使用法发明利授权、本体审查的生、公布CN202411969617.42024-12-30CN119382671B2025-09-12徐志鹏、常健、亚军22种用于气柜可燃测试的系统及法发明利本体审查的生、公布CN202411980652.62024-12-30CN119375415A2025-01-28平、宋飘、宋常征、权汉钊23种射频发生器、半体解决开采及使用法发明利授权、本体审查的生、公布CN202411969617.42024-12-30CN119382671B2025-09-12徐志鹏、常健、亚军24种半体工艺平台实用新式授权CN202423296470.52024-12-30CN223660196U2025-12-12陶珩、何大业、许灿、能语、杨闰清、吴红星、廖腊财、桑成松、刘学滨、陈冬、刘青、刘雯伊25种半体解决开采畸形固态先行者体运输系统和运输法发明利授权、本体审查的生、本体审查的生、公布CN202411947571.62024-12-26CN119372628B2025-03-18庄宇峰、朱泉松、李远、孙鑫26种用于半体解决开采的气体运输安装和善体通路模块实用新式授权CN202423230256.X2024-12-25CN223524974U2025-11-07姜学斌、彭建录、梁冬冬、周楚秦、张嘉赫27晶圆托盘外不雅利授权CN202430820667.02024-12-24CN309541504S2025-10-14汪国元、代宇通、姜勇28晶圆托盘外不雅利授权CN202430817296.02024-12-23CN309541503S2025-10-14汪国元、代宇通、姜勇29种千里积金属氮化物的法发明利本体审查的生、公布CN202411897577.72024-12-20CN120193249A2025-06-24沈成绪、许灿、烨、陈宇畅、刘鹏杰、杨闰清30气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相千里积安装实用新式授权CN202423152151.72024-12-19CN223780356U2026-01-09陈佳波、徐立、吴红星、吕术亮、李雪子31等离子体解决开采实用新式授权CN202423135658.12024-12-18CN223665407U2025-12-12许、朱永成、李琳、智昊32机械臂及半体开采件的洁净度原位检测系统实用新式授权CN202423135638.42024-12-18CN223657031U2025-12-12孙祥、刘若晨33种半体解决开采畸形多区加热板和多区温控运行法发明利本体审查的生、公布CN202411825844.X2024-12-11CN119835809A2025-04-15张辉、姜银鑫、杜冰洁34种气路加热模组实用新式授权CN202422993593.82024-12-04CN223528230U2025-11-07毛绪光、吴红星、李远35种真空平台实用新式授权CN202422993652.12024-12-04CN223535207U2025-11-11刘雯伊、能语、刘学滨36锁扣组件和反馈腔实用新式授权CN202422980570.32024-12-03CN223535206U2025-11-11黄稳、姜勇37流量校准仪外不雅利授权CN202430745159.02024-11-25CN309427817S2025-08-08段国安、连增迪、钟水苗、徐扬、倪图强38等离子体解决安装发明利授权、本体审查的生、公布CN202411668534.12024-11-20CN119170474B2025-02-14张川、田宁、叶如彬39下电组件及等离子体解决开采发明利授权、本体审查的生、公布CN202411660380.12024-11-19CN119170554B2025-07-08田宁、叶如彬40下电组件及等离子体解决开采发明利授权、本体审查的生、公布CN202411660380.12024-11-19CN119170554B2025-07-08田宁、叶如彬41半体解决开采畸形直流电压信号截至系统发明利授权、本体审查的生、公布CN202411629639.62024-11-14CN119182310B2025-09-16倪图强、卢明、李博睿42半体解决开采畸形直流电压信号截至系统发明利授权、本体审查的生、公布CN202411629639.62024-11-14CN119182310B2025-09-16倪图强、卢明、李博睿43种集成式匹配器系统及半体解决安装实用新式授权CN202422709197.82024-11-06CN223527122U2025-11-07范宏宇、李宝琛44止下电组件发生电弧放电的法及等离子体解决开采发明利授权、本体审查的生、公布CN202411561997.82024-11-04CN119069332B2025-03-04田宁、叶如彬、刘志强45气体分拨盒及气相千里积开采实用新式授权CN202422687373.22024-11-04CN223433539U2025-10-14张海龙、胡玲钢、莱纳德·刘、璐瑛46种清洁半体部件的安装及法发明利本体审查的生、公布CN202411474501.32024-10-21CN119426243A2025-02-14梁重时、丛海、朱俊麒47种紧固结构、上接地环组件及等离子体解决开采实用新式授权CN202422473121.X2024-10-12CN223203405U2025-08-08涂传文、苏宜龙、吴标胜48种磁力组件及磁控溅射开采实用新式授权CN202422453102.02024-10-10CN223316769U2025-09-09张旭彤、吴狄、连增迪、李兆晟49种气体传输系统及半体解决开采实用新式授权CN202422453455.02024-10-10CN223318903U2025-09-09恒阳、连增迪50种气体考证安装及半体解决开采实用新式授权CN202422446632.22024-10-09CN223204990U2025-08-08段国安、连增迪、倪图强、徐扬、钟水苗

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